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石嘴山市強(qiáng)泰新型建材有限公司

邵陽(yáng)膜厚儀制作廠家

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論文主要以半導(dǎo)體鍺和貴金屬金兩種材料為對(duì)象,研究了白光干涉法、表面等離子體共振法和外差干涉法實(shí)現(xiàn)納米級(jí)薄膜厚度準(zhǔn)確測(cè)量的可行性。由于不同材料薄膜的特性不同,所適用的測(cè)量方法也不同。半導(dǎo)體鍺膜具有折射率高,在通信波段(1550nm附近)不透明的特點(diǎn),選擇采用白光干涉的測(cè)量方法;而厚度更薄的金膜的折射率為復(fù)數(shù),且能激發(fā)明顯的表面等離子體效應(yīng),因而可借助基于表面等離子體共振的測(cè)量方法;為了進(jìn)一步改善測(cè)量的精度,論文還研究了外差干涉測(cè)量法,通過(guò)引入高精度的相位解調(diào)手段,檢測(cè)P光與S光之間的相位差提升厚度測(cè)量的精度。該技術(shù)可以通過(guò)測(cè)量干涉曲線來(lái)計(jì)算薄膜的厚度。邵陽(yáng)膜厚儀制作廠家

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薄膜作為一種特殊的微結(jié)構(gòu),近年來(lái)在電子學(xué)、摩擦學(xué)、現(xiàn)代光學(xué)得到了廣泛的應(yīng)用,薄膜的測(cè)試技術(shù)變得越來(lái)越重要。尤其是在厚度這一特定方向上,尺寸很小,基本上都是微觀可測(cè)量。因此,在微納測(cè)量領(lǐng)域中,薄膜厚度的測(cè)試是一個(gè)非常重要而且很實(shí)用的研究方向。在工業(yè)生產(chǎn)中,薄膜的厚度直接關(guān)系到薄膜能否正常工作。在半導(dǎo)體工業(yè)中,膜厚的測(cè)量是硅單晶體表面熱氧化厚度以及平整度質(zhì)量控制的重要手段。薄膜的厚度影響薄膜的電磁性能、力學(xué)性能和光學(xué)性能等,所以準(zhǔn)確地測(cè)量薄膜的厚度成為一種關(guān)鍵技術(shù)。邵陽(yáng)膜厚儀制作廠家白光干涉膜厚測(cè)量技術(shù)可以應(yīng)用于光學(xué)元件制造中的薄膜厚度控制。

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薄膜作為改善器件性能的重要途徑,被廣泛應(yīng)用于現(xiàn)代光學(xué)、電子、醫(yī)療、能源、建材等技術(shù)領(lǐng)域。受薄膜制備工藝及生產(chǎn)環(huán)境影響,成品薄膜存在厚度分布不均、表面粗糙度大等問(wèn)題,導(dǎo)致其光學(xué)及物理性能達(dá)不到設(shè)計(jì)要求,嚴(yán)重影響成品的性能及應(yīng)用。隨著薄膜生產(chǎn)技術(shù)的迅速發(fā)展,準(zhǔn)確測(cè)量和科學(xué)評(píng)價(jià)薄膜特性作為研究熱點(diǎn),也引起產(chǎn)業(yè)界的高度重視。厚度作為關(guān)鍵指標(biāo)直接影響薄膜工作特性,合理監(jiān)控薄膜厚度對(duì)于及時(shí)調(diào)整生產(chǎn)工藝參數(shù)、降低加工成本、提高生產(chǎn)效率及企業(yè)競(jìng)爭(zhēng)力等具有重要作用和深遠(yuǎn)意義。然而,對(duì)于市場(chǎng)份額占比大的微米級(jí)工業(yè)薄膜,除要求測(cè)量系統(tǒng)不僅具有百納米級(jí)的測(cè)量精度之外,還要求具備體積小、穩(wěn)定性好的特點(diǎn),以適應(yīng)工業(yè)現(xiàn)場(chǎng)環(huán)境的在線檢測(cè)需求。目前光學(xué)薄膜測(cè)厚方法仍無(wú)法兼顧高精度、輕小體積,以及合理的系統(tǒng)成本,而具備納米級(jí)測(cè)量分辨力的商用薄膜測(cè)厚儀器往往價(jià)格昂貴、體積較大,且無(wú)法響應(yīng)工業(yè)生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)的在線測(cè)量需求。基于以上分析,本課題提出基于反射光譜原理的高精度工業(yè)薄膜厚度測(cè)量解決方案,研制小型化、低成本的薄膜厚度測(cè)量系統(tǒng),并提出無(wú)需標(biāo)定樣品的高效穩(wěn)定的膜厚計(jì)算算法。研發(fā)的系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)微米級(jí)工業(yè)薄膜的厚度測(cè)量。

為了分析白光反射光譜的測(cè)量范圍,開(kāi)展了不同壁厚的靶丸殼層白光反射光譜測(cè)量實(shí)驗(yàn)。圖是不同殼層厚度靶丸的白光反射光譜測(cè)量曲線,如圖所示,對(duì)于殼層厚度30μm的靶丸,其白光反射光譜各譜峰非常密集、干涉級(jí)次數(shù)值大;此外,由于靶丸殼層的吸收,壁厚較大的靶丸信號(hào)強(qiáng)度相對(duì)較弱。隨著靶丸殼層厚度的進(jìn)一步增加,其白光反射光譜各譜峰將更加密集,難以實(shí)現(xiàn)對(duì)各干涉譜峰波長(zhǎng)的測(cè)量。為實(shí)現(xiàn)較大厚度靶丸殼層厚度的白光反射光譜測(cè)量,需采用紅外的寬譜光源和光譜探測(cè)器。對(duì)于殼層厚度為μm的靶丸,測(cè)量的波峰相對(duì)較少,容易實(shí)現(xiàn)靶丸殼層白光反射光譜譜峰波長(zhǎng)的準(zhǔn)確測(cè)量;隨著靶丸殼層厚度的進(jìn)一步減小,兩干涉信號(hào)之間的光程差差異非常小,以至于他們的光譜信號(hào)中只有一個(gè)干涉波峰,基于峰值探測(cè)的白光反射光譜方法難以實(shí)現(xiàn)其厚度的測(cè)量;為實(shí)現(xiàn)較小厚度靶丸殼層厚度的白光反射光譜測(cè)量,可采用紫外的寬譜光源和光譜探測(cè)器提升其探測(cè)厚度下限。白光干涉膜厚測(cè)量技術(shù)可以應(yīng)用于半導(dǎo)體制造中的薄膜厚度控制。

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論文所研究的鍺膜厚度約300nm,導(dǎo)致其白光干涉輸出光譜只有一個(gè)干涉峰,此時(shí)常規(guī)基于相鄰干涉峰間距解調(diào)的方案(如峰峰值法等)將不再適用。為此,我們提出了一種基于單峰值波長(zhǎng)移動(dòng)的白光干涉測(cè)量方案,并設(shè)計(jì)搭建了膜厚測(cè)量系統(tǒng)。溫度測(cè)量實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,峰值波長(zhǎng)與溫度變化之間具有良好的線性關(guān)系。利用該測(cè)量方案,我們測(cè)得實(shí)驗(yàn)用鍺膜的厚度為338.8nm,實(shí)驗(yàn)誤差主要來(lái)自于溫度控制誤差和光源波長(zhǎng)漂移。論文通過(guò)對(duì)納米級(jí)薄膜厚度的測(cè)量方案研究,實(shí)現(xiàn)了對(duì)鍺膜和金膜的厚度測(cè)量。論文主要的創(chuàng)新點(diǎn)是提出了白光干涉單峰值波長(zhǎng)移動(dòng)的解調(diào)方案,并將其應(yīng)用于極短光程差的測(cè)量。白光干涉膜厚測(cè)量技術(shù)可以應(yīng)用于生物醫(yī)學(xué)中的薄膜生物學(xué)特性分析。長(zhǎng)沙膜厚儀使用方法

白光干涉膜厚測(cè)量技術(shù)可以實(shí)現(xiàn)對(duì)復(fù)雜薄膜結(jié)構(gòu)的測(cè)量。邵陽(yáng)膜厚儀制作廠家

自1986年E.Wolf證明了相關(guān)誘導(dǎo)光譜的變化以來(lái),人們?cè)诶碚摵蛯?shí)驗(yàn)上展開(kāi)了討論和研究。結(jié)果表明,動(dòng)態(tài)的光譜位移可以產(chǎn)生新的濾波器,應(yīng)用于光學(xué)信號(hào)處理和加密領(lǐng)域。在論文中,我們提出的基于白光干涉光譜單峰值波長(zhǎng)移動(dòng)的解調(diào)方案,可以用于當(dāng)光程差非常小導(dǎo)致其干涉光譜只有一個(gè)干涉峰時(shí)的信號(hào)解調(diào),實(shí)現(xiàn)納米薄膜厚度測(cè)量。在頻域干涉中,當(dāng)干涉光程差超過(guò)光源相干長(zhǎng)度的時(shí)候,仍然可以觀察到干涉條紋。出現(xiàn)這種現(xiàn)象的原因是白光光源的光譜可以看成是許多單色光的疊加,每一列單色光的相干長(zhǎng)度都是無(wú)限的。當(dāng)我們使用光譜儀來(lái)接收干涉光譜時(shí),由于光譜儀光柵的分光作用,將寬光譜的白光變成了窄帶光譜,從而使相干長(zhǎng)度發(fā)生變化。邵陽(yáng)膜厚儀制作廠家

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河北巨型激光鐳雕機(jī)哪家便宜

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激光 等 17 人贊同該回答

激光鐳雕機(jī)在使用時(shí)需要注意以下事項(xiàng):保證內(nèi)循環(huán)水清潔,定期清洗水箱并更換去離子水或純水。嚴(yán)禁啟動(dòng)激光電源和調(diào)Q電源;Q電源不允許空載(即調(diào)Q電源輸出端懸空)。如果出現(xiàn)異常情況,應(yīng)先關(guān)閉振鏡開(kāi)關(guān)和鑰匙開(kāi) 。

IPP-3151
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第1樓
M/ 等 86 人贊同該回答

M/A-COM產(chǎn)品型號(hào):MAAM-011229-SMB,MAAM-011229-TR1,MAAM-011229-TR1000,MAAM-011231-000,MAAM-011231-000PPR,MA 。

陶瓷纖維免煅燒無(wú)機(jī)板生產(chǎn)廠家
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第2樓
陶瓷 等 52 人贊同該回答

陶瓷纖維強(qiáng)度是指陶瓷纖維在承受外部載荷時(shí),能夠抵抗拉伸、壓縮、彎曲等變形和破壞的能力。陶瓷纖維強(qiáng)度是衡量其質(zhì)量和應(yīng)用性能的重要指標(biāo)之一,對(duì)于產(chǎn)品的性能和可靠性具有重要影響。陶瓷纖維強(qiáng)度的測(cè)試方法主要包 。

淮北巴士德快速卷簾門(mén)
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第3樓
快速 等 64 人贊同該回答

快速卷簾門(mén),也被稱(chēng)為快速門(mén)或高速卷簾門(mén),是一種特殊的高性能門(mén)。其特點(diǎn)是高速、高效、安全和節(jié)能。這種門(mén)廣泛應(yīng)用于各種場(chǎng)所,如工廠、倉(cāng)庫(kù)、物流中心等??焖倬砗熼T(mén)的材質(zhì)對(duì)其性能有著重要影響。以下是快速卷簾門(mén) 。

湖州活性炭給料系統(tǒng)設(shè)計(jì)
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第4樓
活性 等 83 人贊同該回答

活性炭質(zhì)量差或投加量不足活性炭是活性炭給料系統(tǒng)的重要組成部分,其質(zhì)量直接影響到設(shè)備的吸附效果。如果活性炭質(zhì)量差或投加量不足,可能會(huì)導(dǎo)致設(shè)備的吸附效果下降。為排除這種故障,可以采取以下措施:選擇高質(zhì)量的 。

淄博全自動(dòng)奶箱提手模具廠家有哪些
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第5樓
奶箱 等 73 人贊同該回答

奶箱提手模具1氣密性高,防潮阻水。2阻隔性高,抗氧化,保持食品原味。3質(zhì)量輕,便于儲(chǔ)存和運(yùn)輸。4透明性,檔次高。5成本低。6.不易碎,不變形。7便于攜帶。8綠色環(huán)保。9生產(chǎn)高效率注塑模具的特點(diǎn)作為注塑 。

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第6樓
快速 等 99 人贊同該回答

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物聯(lián)網(wǎng)船舶管理軟件分類(lèi)
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第7樓
隨著 等 45 人贊同該回答

隨著船舶運(yùn)營(yíng)的數(shù)字化和信息化程度不斷提高,船舶管理軟件也在不斷發(fā)展和完善。未來(lái),船舶管理軟件的發(fā)展方向和趨勢(shì)主要包括以下幾個(gè)方面:1.云計(jì)算和大數(shù)據(jù)隨著云計(jì)算和大數(shù)據(jù)技術(shù)的不斷發(fā)展,船舶管理軟件將更加 。

浙江磁懸浮垂直軸風(fēng)力發(fā)電哪家好
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第8樓
垂直 等 97 人贊同該回答

垂直軸風(fēng)力發(fā)電通常使用的電池類(lèi)型是鋰離子電池。鋰離子電池是一種輕便、高能量密度和長(zhǎng)壽命的電池,適合用于儲(chǔ)存風(fēng)力發(fā)電系統(tǒng)產(chǎn)生的電能。這種電池可以高效地儲(chǔ)存風(fēng)力發(fā)電系統(tǒng)產(chǎn)生的電能,并在需要時(shí)釋放能量以供電 。

漳州正規(guī)醫(yī)療吸塑包裝廠家定做
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第9樓
吸塑 等 37 人贊同該回答

吸塑包裝尺寸的得來(lái)可分為三種:按照客戶(hù)樣品復(fù)制(制模叫復(fù)模)、根據(jù)圖紙制模、根據(jù)實(shí)物自行設(shè)計(jì)。因?yàn)槲艿男螤钜话愀鶕?jù)實(shí)物定制,故形狀多不規(guī)則,圖紙制作時(shí)有很多尺寸不準(zhǔn)確或不能標(biāo)注出,故根據(jù)圖紙制作時(shí)存 。

濰坊ABB工業(yè)機(jī)器人故障恢復(fù)
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第10樓
AB 等 36 人贊同該回答

ABB機(jī)器人的線性運(yùn)動(dòng)不走直線原因如下:1、機(jī)器人程序編寫(xiě)問(wèn)題:如果機(jī)器人程序中的移動(dòng)指令存在誤差,即機(jī)器人并沒(méi)有按照所期望的直線路徑移動(dòng),那么可能是程序編寫(xiě)的問(wèn)題,可以嘗試重新編寫(xiě)程序。2、系統(tǒng)校準(zhǔn) 。

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